繞過(guò)光刻機(jī)-湖南大學(xué)教授新研究“出爐”,為芯片發(fā)展提供新思路
半導(dǎo)體晶體管是一種半導(dǎo)體材料制成的電子元器件,是現(xiàn)代電子技術(shù)的基礎(chǔ)。它可以被用來(lái)控制電流的流動(dòng),實(shí)現(xiàn)邏輯運(yùn)算、信號(hào)放大等功能。
在半導(dǎo)體晶體管發(fā)明之前,電子管是電子設(shè)備中主要的電子元器件。但電子管體積大、能耗高、易燒壞等缺點(diǎn),制約了電子技術(shù)的發(fā)展。半導(dǎo)體晶體管的發(fā)明使得電子設(shè)備可以更小巧、高效地工作,推動(dòng)了信息技術(shù)的快速發(fā)展。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“卡脖子”問(wèn)題
我國(guó)在晶體管方面的發(fā)展經(jīng)歷了多年的探索和發(fā)展。1956年,我國(guó)科學(xué)家歷時(shí)三個(gè)多月研制出了我國(guó)第一顆晶體管。這標(biāo)志著我國(guó)在半導(dǎo)體器件領(lǐng)域開(kāi)始了自主研發(fā)和生產(chǎn)的歷程。
1960年代,我國(guó)開(kāi)始研究硅平面晶體管工藝并研制集成電路。1970年代,我國(guó)的晶體管生產(chǎn)能力大幅提升,生產(chǎn)的晶體管廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、通信等領(lǐng)域。
1980年代,我國(guó)開(kāi)始自主研制微電子芯片,取得了重要的進(jìn)展。1990年代至今,我國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸崛起,成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要力量。
晶體管的發(fā)展情況直接關(guān)乎集成電路的發(fā)展。隨著科技的快速發(fā)展,集成電路產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為當(dāng)今世界最為重要的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)之一。
然而,雖然我國(guó)在制造一些成熟的集成電路方面已經(jīng)有了一定的優(yōu)勢(shì),但在新材料、新工藝、新器件等前沿技術(shù)方面仍然存在很大的缺口。在一些關(guān)鍵技術(shù)方面仍然存在很大的缺陷,如芯片制造設(shè)備、封裝技術(shù)等方面,都需要從國(guó)外進(jìn)口或合資企業(yè)中獲取技術(shù)支持。
這也導(dǎo)致了我國(guó)在集成電路產(chǎn)業(yè)中只能起到后期制造環(huán)節(jié)的作用,難以在核心技術(shù)上形成自主的競(jìng)爭(zhēng)力。
摩爾定律:半導(dǎo)體技術(shù)的工業(yè)圣經(jīng)
摩爾定律(Moore's Law)是指由英特爾公司創(chuàng)始人之一戈登·摩爾于1965年提出的一個(gè)關(guān)于集成電路的發(fā)展規(guī)律。
戈登·摩爾在1965年的一次演講中預(yù)測(cè),未來(lái)幾年內(nèi)集成電路中的晶體管數(shù)量將會(huì)成倍數(shù)增長(zhǎng),而集成電路中可容納的晶體管數(shù)量達(dá)到當(dāng)前狀態(tài)的一倍,預(yù)計(jì)只需要十年時(shí)間,這個(gè)數(shù)據(jù)還僅僅是保守估計(jì)。
摩爾的預(yù)言在當(dāng)時(shí)看起來(lái)是非常樂(lè)觀的,但時(shí)間會(huì)向人們證明,這個(gè)結(jié)論是正確的。
自從這個(gè)理論提出以來(lái)不斷被證實(shí),掌握晶體管數(shù)量的發(fā)展規(guī)律,就等于證明了芯片性能的持續(xù)提高和成本的不斷降低。這使得電子設(shè)備變得更加小巧、高效,價(jià)格也逐漸降低,極大地促進(jìn)了信息技術(shù)的發(fā)展。
然而,隨著理論的逐漸接近極限,一些人開(kāi)始質(zhì)疑此定律是否還能繼續(xù)發(fā)揮作用。盡管現(xiàn)在的技術(shù)已經(jīng)使得集成電路中晶體管的數(shù)量達(dá)到了數(shù)十億級(jí)別,但在制程工藝和材料等方面的瓶頸制約,使得集成電路中晶體管數(shù)量的增長(zhǎng)速度正在放緩。
因此,尋找新的技術(shù)和材料,以滿足人們對(duì)更高性能和更低成本的需求,成為了當(dāng)前集成電路研究的重要課題。
劉淵教授領(lǐng)導(dǎo)的湖南大學(xué)團(tuán)隊(duì),采用創(chuàng)新集成技術(shù),為我國(guó)的芯片發(fā)展帶來(lái)新的機(jī)遇。
創(chuàng)新研究為晶體管發(fā)展提供新思路
隨著科技的發(fā)展,芯片成為了現(xiàn)代電子設(shè)備的核心。而芯片中最基本的組成部分就是晶體管。在同樣的芯片面積下,晶體管數(shù)量越密集程度與芯片工藝的先進(jìn)程度成正比。因此縮短溝道長(zhǎng)度,就成為了科學(xué)家們要面臨的首要問(wèn)題。
晶體管導(dǎo)電溝道長(zhǎng)度直接影響芯片的工藝水平,是芯片分類定性的指標(biāo)。溝道長(zhǎng)度為多少時(shí),就以相應(yīng)的芯片規(guī)格命名。由于溝道長(zhǎng)度越短越好,就需要依賴于高精度的曝光系統(tǒng),也就是我們常說(shuō)的光刻機(jī)。
但是,目前大多數(shù)晶體管的結(jié)構(gòu)基本上都采用平行型,3納米是溝道長(zhǎng)度的一個(gè)瓶頸,低于這個(gè)數(shù)值,會(huì)帶來(lái)嚴(yán)重的短溝道效應(yīng),會(huì)導(dǎo)致晶體管的開(kāi)關(guān)速度變慢、漏電電流變大、漏電功耗增加等問(wèn)題。同時(shí)光刻機(jī)也很難達(dá)到這種要求。因此,科學(xué)家們研究了一種新的晶體管結(jié)構(gòu)——垂直型結(jié)構(gòu)。
這種晶體管的特點(diǎn)在于晶體管的擺放方式改為垂直,采用這種方式可以大大縮短溝道長(zhǎng)度,從而實(shí)現(xiàn)更密集和更先進(jìn)的工藝。
最重要的是,不像傳統(tǒng)的晶體管需要依賴高精度的光刻技術(shù),垂直型晶體管不需要這樣的限制。
然而還有一個(gè)問(wèn)題:傳統(tǒng)技術(shù)對(duì)垂直晶體管的金屬-半導(dǎo)體間形成的接觸界面無(wú)法達(dá)到使用標(biāo)準(zhǔn)。界面會(huì)對(duì)整個(gè)器件的溝道造成破壞,形成量子隧穿。量子隧穿是一種奇特的現(xiàn)象,描述了粒子可以通過(guò)被經(jīng)典物理學(xué)認(rèn)為不可能越過(guò)的能量勢(shì)壘,進(jìn)行穿透運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象。也就是我們所說(shuō)的“漏電”。
研究團(tuán)隊(duì)采用低能量的范德華電極集成方式,成功實(shí)現(xiàn)了非常薄的短溝道晶體管。與傳統(tǒng)金屬沉積技術(shù)形成的界面相比,這個(gè)理想界面的平整程度達(dá)到了原子級(jí)別,有效減緩了漏電問(wèn)題。在研究中,他們發(fā)現(xiàn)即使在微小的溝道長(zhǎng)度下,也不會(huì)影響半導(dǎo)體的性能表現(xiàn)。
這種方法還可以應(yīng)用到其他半導(dǎo)體作為溝道,突破了晶體管結(jié)構(gòu)的3納米限制,而實(shí)驗(yàn)結(jié)果也證明了這種方法對(duì)晶體結(jié)構(gòu)普遍有效。
通過(guò)采用低能量的電極集成方式,研究團(tuán)隊(duì)成功地實(shí)現(xiàn)了非常薄的晶體管,這使得排列更加密集,能夠?qū)崿F(xiàn)更先進(jìn)的工藝。
此外,這種集成方式還能夠應(yīng)用于制備其他異質(zhì)結(jié)構(gòu),從而為芯片制造業(yè)降低成本,提高制造效率,這對(duì)于提高芯片性能具有重要意義。
劉淵教授表示,團(tuán)隊(duì)下一步的研究方向是垂直晶體管的集成技術(shù)。除了制造高質(zhì)量的垂直晶體管外,晶體管集成技術(shù)還需要解決多層器件之間的互連和制造工藝的問(wèn)題。一種常見(jiàn)的解決方案是采用硅互連技術(shù),通過(guò)制造多層硅層和金屬層來(lái)實(shí)現(xiàn)多層器件之間的互連。
另外,還需要開(kāi)發(fā)新的制造工藝和設(shè)備,以支持多層器件的制造和組裝。
垂直晶體管集成技術(shù)是一種非常前沿的芯片制造技術(shù),其潛力巨大,這有助于提升芯片的性能和功耗效率,同時(shí)壓縮制造成本。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和成熟,相信進(jìn)一步研究的晶體管集成技術(shù)將會(huì)成為未來(lái)芯片制造的主要趨勢(shì)之一。
垂直晶體管對(duì)于我國(guó)半導(dǎo)體發(fā)展的意義
垂直晶體管的出現(xiàn)對(duì)于我國(guó)半導(dǎo)體發(fā)展具有非常重要的意義。首先,這種晶體管相比傳統(tǒng)平面晶體管具有更高的器件密度和更低的功耗。這意味著在同樣的芯片面積下,可以實(shí)現(xiàn)更多的晶體管,從而提高其性能和功耗效率。幫助我國(guó)企業(yè)生產(chǎn)出更高性能、更具競(jìng)爭(zhēng)力的芯片產(chǎn)品。
其次,垂直晶體管的出現(xiàn)也為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供了更多的技術(shù)路線選擇。我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一直以來(lái)都面臨著技術(shù)瓶頸和依賴進(jìn)口的問(wèn)題,而這種晶體管的出現(xiàn)為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供了一條新的技術(shù)路線,可以促進(jìn)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新和自主研發(fā)。
此外,垂直晶體管的出現(xiàn)還有助于我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在國(guó)際市場(chǎng)上的競(jìng)爭(zhēng)。隨著全球芯片市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈,我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)需要不斷創(chuàng)新和提高技術(shù)水平,才能在國(guó)際市場(chǎng)上獲得更大的市場(chǎng)份額和更好的競(jìng)爭(zhēng)力。
試驗(yàn)團(tuán)隊(duì)的創(chuàng)新為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供了一個(gè)新的機(jī)會(huì),可以通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新和自主研發(fā)來(lái)提高競(jìng)爭(zhēng)力和市場(chǎng)占有率。
垂直晶體管是一種相對(duì)較新的器件結(jié)構(gòu),其研發(fā)還處于初期階段。雖然已經(jīng)有不少的研究成果發(fā)表,但還沒(méi)有出現(xiàn)完全成熟的商業(yè)化產(chǎn)品。因此,劉淵等人仍面臨著一些技術(shù)難題和挑戰(zhàn),例如制造工藝的難度、界面問(wèn)題、器件的可靠性等方面。
結(jié)語(yǔ)
正如科學(xué)研究中的常態(tài)一樣,垂直晶體管的研究成果也可能會(huì)被推翻或者取代。這并不意味著迄今為止的研究失去了意義,相反,它對(duì)于我國(guó)芯片制造已經(jīng)是一個(gè)機(jī)遇。
首先,垂直晶體管的研究和發(fā)展已經(jīng)推動(dòng)了半導(dǎo)體器件的創(chuàng)新和技術(shù)進(jìn)步。研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)不斷地探索和實(shí)驗(yàn),提高了對(duì)這種晶體管結(jié)構(gòu)的認(rèn)識(shí)和理解,使得半導(dǎo)體器件制造技術(shù)得到了極大的提升和發(fā)展。
其次,垂直晶體管的研究為我國(guó)芯片制造業(yè)提供了新的技術(shù)路徑和發(fā)展方向。在當(dāng)前全球芯片市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)日趨激烈的情況下,我國(guó)芯片制造業(yè)需要不斷地創(chuàng)新和提高技術(shù)水平,才能在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中立于不敗之地。
它的出現(xiàn)為我國(guó)芯片制造業(yè)提供了一個(gè)新的技術(shù)突破口,可以幫助我國(guó)芯片制造業(yè)實(shí)現(xiàn)更高水平的發(fā)展。
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